Friday, November 28, 2008

Anything magic about chip? Part II

上回说道上百万,上千万,甚至上亿计的transistor..如何设计呢??又如何被制造出来呢?诸位如觉得神奇的话,那就让小弟今天为大家打破神奇吧。。Kevin's Myth buster!!












图一:电路symbol (circuit symbol)

example of 电路图。。首先circuit designer就会design 电路。。这里就有两粒transistors.. 大致上就是将1 -> 0 或者将 0 -> 1。。这还不是蓝图。。这只是symbol 罢了。。














图二:电路蓝图(layout mask)

有了电路,layout designer就会将图一的电路画成蓝图。。就很像左图就是图一电路的实际蓝图。。












图三:system level application design layout mask

左图是一个较完整的系统电路设计蓝图。。里面有上百万的transistors...占据的chip area是6mmx6mm. 完成了这个终极蓝图后,工程师就将蓝图交给foundry..也就是制造芯片的工厂。。我们叫fabrication plant。。















图四: lithography 中文不懂叫什么。。派seh..

不过道理跟camera film差不多一样。。大家看看mask..也就是图三设计出来的layout mask..它是一层一层的。。大概有8-9层吧。。那个圆咕噜有很多格子格子的就叫做silicon wafer...就是还没切片的芯片。。silicon是什么??简单来说, silicon就是沙。。所以一切magic都是从沙粒开始。。那我们就要光线。。也就是UV-light source, 光线波长大概193nm。。也是目前最广为用的。。不过以后呢,可能就会用laser wave length..大概 13nm.. 这光线就会穿越mask..然后再经过lens 折射至其中一块wafer格子里。。详细情况我会在进一步说明。。那为什么需要lens呢。。这是因为光线波长是193nm..而我们如今transistor 技术是45nm..那么就需要借助lens的optical effect来fine tune transistor geometry...

step 1: Computer Aided Design

也就是从图一至图三的过程。。结果就是要交出design layout mask给fabrication plant


step 2: lithography
就是图四说说明的。。




step 3: silicon crystal growth

也就是刚才圆咕噜咚咚的前身。。在生长的过程中,必须确保silicon 非常的纯净



step 4: slice of silicon crystal

silicon将会被砖石锯成一片片的silicon wafer... 然后再将其表面磨平至镜子表层那么的平


Making a Transistor process (在silicon wafer 上制作transistor)

step 5: wafer cover by layer of silicon oxide





step 6: wafer cover by photo-resist material

photo-resist 是一种可以以光线产程化学效用的物质。。当等下lithography process时,经过光线的折射的部分,将会产生科学效用。。


step 7: lithography

就如图四的一样,用光线通过我们所设计出来的电路蓝图。。再折射至silicon wafer上。。那蓝图上的pattern..或形状。。也将会印在silicon wafer上。。


step 8 : removal of photo-resist

那个红色颜色的就是photo-resist material..在经过光线的折射后,曝光在光线的部分,将会被去除掉。。而没曝光的部分,将保护那个表面。。


step 9 : etching

中文etching 不懂怎么说,大概就是去除的意思。。那就是说,被曝光的表面部分呢,在photo-resist被去除后,再用化学方式去除掉orange color的那层,也就是silicon oxide...

step 10: doping

简单来说,也就是用激光方式改变那层被去除掉部分silicon material 的electrical behavior...那层黄色的。。就是在经过doping 步骤后,已经改变了其原有的电子behavior...


Adding Wire connection process (将transistor群连接起来。。也就是加所谓的电线)

step 11: adding wire connection

当transistor layer 完成后。。进一步。。也就是电线了。。也就是在silicon wafer上再加一层金属导电质料比如copper铜。。那层灰色的就是copper layer..


step 12: photo-resist

同样的。。step 6又重复了。。在metal上加一层photo-resist material



step 13: lithography

同样的。。在我们design 好了的电子蓝图上,用光线折射原理。。印在photo-resist material上。。。


step 14: photo-resist removal

电子蓝图上的形状。。也被印在photo-resist..然后再用化学作用将其去除掉。。



step 15: etching

又是重复着step 9, 用化学作用。。去除掉被光线曝光的部分金属。。那些部分也就是本来在蓝图上是不应该有金属的部分。。。


step 16: 完工

就那样,金属被正确的复制在silicon wafer上。。这里总共有7-8金属层。。所以,同样的步骤step 11 - step 15..又被重复的运用。。


step 17: silicon wafer cutting

就那样,同样的步骤从step 7 to step 16..运用在每个silicon wafer格子中。。所以一片wafer 就大概有上百上千的integrated circuit design...完成后,就会一个一个格子的隔出来。。

step 18 : packaging

被割出来的integrated circuit..就是那个在青色方块中央的。。一小块物体。。就需要把它包装起来。。这个步骤我们就叫做packaging...过后,就是我们平常看到的IC了。。






























图五: real integrated circuit in package
图六: 终于可以送上太空了。。

红色格子的。。就是集体电路啦。。大家看看是不是跟图三用电脑设计出来的电路蓝图有点相似理。。。。也就是从process 好了得silicon wafer里隔出来的IC...橙色格子的也就是package outlook...就那样IC 装置在package里。。然后designer再design电板已开启整个系统操作。。各位这就是一整个电子晶片设计及制造过程。。就那样其实没什么神奇的。。。都是在严谨科学理论及实践上制造出来。。故事告诉我们。。。做事必须一步一步地打下来。。天才似的走直径是不会有好后果的。。。看看credit crunch的教训吧。。这个世界进步总归得依靠工程师!!

7 Comments:

At November 29, 2008 at 3:58 AM , Blogger candygan said...

晕。。。晕。。。晕。。 你到底在讲什么东东啊???

 
At November 29, 2008 at 7:26 AM , Anonymous Anonymous said...

很好很好!谢谢你的贡献。。。
*假假的*

 
At December 1, 2008 at 3:15 AM , Blogger queenny said...

通常從事這行的人做事都很精準嚴謹,對嗎?

 
At December 1, 2008 at 5:06 AM , Blogger kevin tham said...

恩。。这世上没有绝对的精准。。精准也只是相对性的。。不懂你明不明。。不过严谨是一定的。。一个小小的错误。。可以让整个芯片流程必须重做而浪费百多万。。有个例子。。曾经有个工程师。。因为无法在几万个warning message中。。寻着1个真正的bug...结果芯片回来不能用。。结果。。当然很残酷咯。。。所以。。这种工作让人变得paranoid...比较神经质。。。呵呵。。

 
At December 7, 2008 at 6:34 AM , Anonymous Anonymous said...

看完了
明白了

哇!!好神奇啊!!
Kevin's Myth Buster!!!!!!!!
=.="

 
At December 14, 2008 at 10:42 PM , Blogger Fang Fang said...

bro, was trying to look for you. do you have gmail?

 
At December 14, 2008 at 10:44 PM , Blogger kevin tham said...

kevin.v.tham@gmail.com add me

 

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